勻膠機的選擇與使用

此款勻膠機共有兩種型號：AC200-SE是標準型號，AC200-PE是型號；AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，這是一種程控伺服型精密勻膠機，可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備上才能達到的穩(wěn)定性和均勻性。這款設(shè)備采用了不銹鋼外殼，更加耐久和美觀；采用了工業(yè)級別的200W的伺服電機系統(tǒng)和與track設(shè)備相同的設(shè)計和程序，使工藝更具有實際應(yīng)用意義；AC200在同類產(chǎn)品中**的較先達到5000RPM/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

主要性能指標

1：主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

2：內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的高分子材料（HDPE）

3：旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

4：旋涂速度：0-10000rpm

5：旋涂加速度：0-50000rpm/s

6：馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：＜±1rpm（TN-AC200-SE)；＜±0.1rpm（TN-AC200-PE)

7：轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性：1rpm（TN-AC200-SE);0.1rpm（TN-AC200-PE)

8：AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能

9：工藝時間設(shè)定：0-3000sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圓晶）

11：旋涂作業(yè)均勻性：＜±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米測量）

產(chǎn)品特性優(yōu)點

1：**的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸

2: 采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密閉碗"設(shè)計，可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝。

4：標準配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm，可以根據(jù)用戶需要進行定制

5：采用工業(yè)級的伺服電機，電機*的設(shè)計可以避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部

6：機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不生銹，便于清洗。

7：排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部，利于排風效率和勻膠的均一性

8：透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發(fā)